真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義爲：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨着真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空範圍。
真空區域的劃分
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粗真空 |
105～103Pa |
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低真空 |
103～10-1Pa |
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高真空 |
10-1～10-6Pa |
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超高真空 |
10-6～10-10Pa |
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極高真空 |
<10-10Pa |
真空泵的分類
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分爲兩種類型，即變容真空泵和動量傳輸泵。
變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。
動量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。（單獨段介紹）
變容真空泵又分爲：往複式，旋轉式（旋片式、滑閥式、液環式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式），其它型式。
各類真空泵工作壓力範圍
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真空泵種類 |
工作壓強範圍（Pa） |
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往複式真空泵 |
1×105～1.3×102 |
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旋片式真空泵 |
1×105～6.7×10-1 |
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液環式真空泵 |
1×105～2.7×103 |
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羅茨式真空泵 |
1.3×103～1.3 |
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水蒸氣噴射泵 |
1×105～1.3×10-1 |
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油擴散泵 |
1.3×10-2～1.3×10-7 |
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钛升華泵 |
1.3×10-2～1.3×10-9 |
真空泵的規格及型號表示法
國產的各種機械真空泵的型號通常是用漢語拼音字母來表示。漢語拼音字母表示泵的類型；字母前的數字表示泵的級數，單級時“1”省略；字母後邊横線後的數字表示泵的抽速(L/S)
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型 號 |
名 稱 |
型 號 |
名 稱 |
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W |
往複式真空泵 |
H |
滑閥式真空泵 |
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WY |
移動閥式往複泵 |
YZ |
余擺線真空泵 |
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WL |
立式往複泵 |
ZJ |
羅茨真空泵 |
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SZ |
水環泵 |
X |
旋片式真空泵 |
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SZB |
懸臂式結構水環泵 |
F |
分子真空泵 |
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SZZ |
直聯式水環泵 |
XZ |
直聯式旋片泵 |
常用真空泵技術
蒸汽噴射泵
濕式泵（液環真空泵、旋轉葉片泵）
幹式泵（羅茨泵、螺杆泵、爪式泵）
1、蒸汽噴射泵
噴射真空泵工作原理：蒸汽噴射真空泵有一定壓強的工作的真空泵設備，蒸汽通過拉瓦爾噴咀，減壓增速，蒸汽的勢能轉變爲動能並以超音速噴入混合室，與被抽介質混合，進行能量交換，混合後的氣體進入擴壓器，減速增壓，動通轉化爲壓強能，爲了減少後級泵的抽氣負荷，配置冷凝器，通過有一定溫差的兩種介質對流，進行熱交換，達到冷凝高溫介質目的，排到大氣壓。工作原理如下圖所示：
常用真空泵技術
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優點： |
缺點： |
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無機械運動部件 |
運動流體供應 |
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可靠耐用 |
廢水處理 |
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快速的抽真空 |
工藝過程汙染 |
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緊湊、占地面積小 |
故障探尋困難 |
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工作安全 |
級間冷卻 |
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低的投資成本 |
常爲多級 |
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適應性強 |
在 400PaA以下結冰 |
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結構簡單、重量輕 |
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2、濕式泵：液環真空泵
在圓形泵體（A）內，在相對于泵體中心線爲偏心的軸上裝有一個葉輪（B）。轉動的葉輪的離心作用迫使工作液通過通道（D）流向腔體周邊形成環流（C）。
泵起作用時，被輸送的氣體混合物經過中間板（E）上的吸入口（H）進入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環內徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內。當葉輪轉動時，葉輪葉片浸沒在液環中的程度增加，而使液環和葉輪葉片根部之間的容積減少。結果是氣體混合物受到壓縮，直至到達中間板中（K）的排放口（J）。氣體混合物通過排放口排出。
在壓縮循環過程中，熱傳遞到液環。爲了使溫度保持在工作液的蒸發點以下，必須進行冷卻。通過連續不斷地向液環添加冷的工作液來達到冷卻的目的。添加的工作液量與經過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。氣體混合物和工作液最終經過泵出口進行分離。
液環泵按不同結構可分成如下幾種類型：
(1) 單級單作用液環泵單級是指只有一個葉輪，單作用是指葉輪每旋轉一周，吸氣、排氣各進行一次。這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。
(2) 單級雙作用液環泵單級是指只有一個葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉一周，吸氣、排氣各進行二次。在相同的抽速條件下，雙作用液環泵比單作用液環泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對稱分布于泵輪毂兩側，改善了作用在轉子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高。
(3)雙級液環泵大多是單作用泵串聯而成。實質上是兩個單級單作用的液環泵的葉輪共用一根心軸聯接而成。它的主要特點是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩定。
(4)大氣液環泵實際是大氣噴射器串聯液環泵的機組。液環泵前面串聯大氣泵是爲了提高極限真空，擴大泵的使用範圍。
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優點 |
缺點 |
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結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。 結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。 壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。 由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。 吸氣均勻，工作平穩可靠，維修方便。 |
效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。 真空度低，這不僅是因爲受到結構上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達到2000~4000Pa。用油作工作液，可達130Pa。 封液循環、汙染。 |
濕式泵：旋轉葉片泵
轉子在有柱狀膛孔的定子內 。
轉子有兩個葉片在槽中反向滑動 。
當轉子運轉時，葉片端與油潤滑定子壁接觸。
每轉一次爲兩個泵吸循環 —比較小的不平衡力。
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優 點 |
缺 點 |
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極限壓力好 噪聲小 應用範圍廣 |
油封液汙染 對腐蝕很敏感 維修費用高 抽速範圍受到限制 不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對泵密封油起化學作用、及含有顆粒灰塵的氣體。 |
濕式泵的主要問題：密封液體供應，汙染，廢水處理，腐蝕，蒸汽壓力限制（特別是液環泵），可靠性，運行成本。
3、幹式泵
幹式抽真空：沒有工業生產液流的汙染；
深度真空，運轉更靈活；
無廢水，無汙染，（較少或）無廢棄物處理費用；
維修成本較低；
在泵排放口立即回收溶劑；
消耗水、電、氣等費用較低→運行成本較低。
技術對比：
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